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ag体育-薄膜的常见问题1。薄膜的内应力、生长变形和热应力是什么?生长变形,热应力产生的原因?内应力:从截面一侧到截面另一侧的单位面积的力,在没有外力的情况下,薄膜的给定截面上不存在内应力。热应力:是指在温度变化的情况下,受约束薄膜的热膨胀和收缩效应引起的薄膜内应力生长变形:首页官方是指薄膜结构不平衡引起的薄膜内应力,也称为本征应变。

2.薄膜生长有三种模式:(1)岛状生长模式;(2)分层生长;(3)岛屿分层生长;(1)薄膜和衬底之间的界面;(1)平面界面,其中材料从一种类型变为另一种类型,界面两侧的原子距离为0.1-0.5nm。(2)构成化合物的界面。当界面两侧原子间作用力较强时,化学反应会再次发生,化合物分解。

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(3)合金的扩散界面。当界面两侧的元素相互扩散并沉淀形成合金时,界面的成分将呈现梯度变化。(4)机械变形表面。

当界面的硬度较低且界面元素不会再次显著扩散时,界面两侧的材料会因其不平坦的表面而变形。4.膜厚的测试方法主要有哪些?等厚干涉法(FET)、等色干涉法(FECO)、等角干涉法(VAMFO)、等角光干涉法(CARIS)、椭偏仪法、表面粗糙度仪法、去除法、石英晶体振荡器法。例:椭偏仪法(利用材料界面对不同偏振态的光具有不同的光线和反射率的性质,通过测量薄膜对不同偏振光成分的反射系数之比,可以计算出薄膜的厚度。

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